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| 총무처 차장 (1948~1955) | | 초대
윤석오 | 제2대
권성기 | | 국무원사무처 행정·사무차장 (1960~1961) | | 제3대
신두영 | 제4대
장덕용 | | 국무원사무처 법제차장 (1960~1961) | | 제3·4대
박일경 |
| 내각사무처 행정·사무차장 (1961~1963) | | | | | 제5대
장태환 | 제6·7대
박영석 |
| 내각사무처 법제차장 (1961~1963) | | | | 제5대
박일경 | 제6대
서정순 |
| 총무처차관 (1963~1998) | | 제8대
김옥형 | 제9대
박상길 | 제10대
신두영 | 제11대
민유동 | 제12대
정진우 | | | | 제13대
최택원 | 제14대
김창식 | 제15대
김용래 | 제16대
김옥진 | 제17대
장기오 |
| 1998년 내무부·정무장관(제1실)과 통합 | 제23대
원진식 | 제24대
윤웅규 | 제25대
우근민 |
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