문서의 임의 삭제는 제재 대상으로, 문서를 삭제하려면 삭제 토론을 진행해야 합니다. 문서 보기문서 삭제토론 현미경 (문단 편집) ==== 주사 전자 현미경(SEM) ==== SEM의 경우 전자빔을 쏘아 반사된 전자를 관측하는 장비이다. 먼저, 주사 전자 현미경을 이해하기 위해서는 '주사'라는 것이 무엇인지 알 필요가 있다. 전자 현미경은 고속으로 방출된 전자의 짧은 파장을 이용하여 보다 높은 분해능을 얻기 위한 장비이지만, 전자기 렌즈의 성능, 그리고 검출기의 집적화 문제 등으로 인하여 일반적인 광학 현미경처럼 '시료에서 반사된 빛(전자)을 렌즈로 모아 상을 맺는다'는 형태로 장비를 만들 수 없다. 때문에 전자는 전자기 렌즈를 통해 상을 맺는 것이 아니라, 전자기 렌즈와 핀홀 등을 통해서 시료의 한 점으로 집중된 전자들의 반사된 정도를 검출기로 수집하여 '시료의 어느 한 점'의 명암을 확인한다. 이 점들을 왼쪽에서 오른쪽으로, 위에서 아래로 하여 시료 전체를 훑으면 시료 모든 표면에 대한 명암 정도를 확인할 수 있다. 이를 '주사(走査)'라고 하며, 이것을 컴퓨터 소프트웨어를 통해 화상으로 바꾸어 출력하는 것이 '주사 전자 현미경'이다. 금속과 같은 도체는 전자를 잘 반사하므로 밝게 보이지만, 부도체는 전자빔을 쏘면 전자들이 안에 들어가 안나온다. 즉 대전현상이 발생해 이미지가 왜곡된다. 그래서 일부러 금속 코팅을 따로 해주기도 한다. 하지만 생물시료나 금속코팅하면 손상을 받는 시료들은 촬영이 어렵다(Os Coating을 하면 데미지를 최대한 감소시킬 수 있다고 한다). 그래서 저진공 SEM 기법이 많은 분야에서 적용되고 있다. 경통과 챔버(전자현미경 내부 시료실) 사이의 조리개가 챔버 내부의 가스 분자들이 경통으로 유입되는 것을 방지해주는데 이때 저진공 상태에서 전자빔을 조사하면 전자빔에 의해 가스 분자가 여기(활성화,excitation)되어 다량의 이온과 전자가 발생하며, 이 전하들이 시료표면의 대전을 중화시키는 역할을 한다. 따라서 저진공에서 코팅을 하지 않고도 선명한 주사전자 현미경 영상을 얻을 수 있어 고진공환경에서와 비교해 사용자 편의성이 획기적으로 증대된다. ~~더 많이 일을 할 수 있다...~~ 전계방출형 주사 전자 현미경(FE-SEM)[[https://en.wikipedia.org/wiki/Field-emission_microscopy|#]]도 있는데[* 링크의 이론과 개념을 모르면 전자 현미경의 원리를 알 수가 없다. ~~일단 전자 현미경들은 전자총에 에너지를 가해주고 진공을 잘 유지시켜야 하니까... 백열전구 생각하면 되지 않을까?~~ ] 기존의 열전자총을 사용하던 주사 전자 현미경에선 기대할 수 없었던 고배율, 고해상도의 이미지를 얻을 수 있다. 일반적으로 고체의 표면에서 진공으로 전자를 방출시키는 원리는 크게 3가지로 분리할 수 있다. 첫 번째 열에 의해 방출 되는 열전자 방출[[http://terms.naver.com/entry.nhn?docId=2301952&cid=42419&categoryId=42419|#]] 두 번째 빛에 의해 방출되는 광전자 방출 세 번째 전계 효과에 의해서 전계 방출로 구분된다.[[http://terms.naver.com/entry.nhn?docId=1076039&cid=40942&categoryId=32242|#]] 이 현상으로 발생하는 에너지가 열전자 방출보다 직선적이고 높은 에너지이기 때문에 시료관측할 때 좋다. [[https://ko.wikipedia.org/wiki/%ED%84%B0%EB%84%90_%ED%9A%A8%EA%B3%BC]] ~~알아야할 이론이 너무 많다...~~ 쉽게 말해서 가속전압을 가해 전자총에서 나온 전자가 경통과 전자렌즈들을 지나서 시료를 때리고 반사된 에너지를 검출기가 읽어들여서 이미지화 한다. 전자총은 날카롭고 뾰족하게 가공되며 일함수[[https://ko.wikipedia.org/wiki/%EC%9D%BC%ED%95%A8%EC%88%98|#]]를 줄여야 하니까 텅스텐처럼 튼튼한 금속을 써야 된다.(심지어 필라멘트가 끊어지면 갈아줘야 한다. 정말 백열전구 하나면 모든 게 설명되는 느낌이다...) 주요 제조회사로는 JEOL (일본), [[히타치 제작소|Hitachi]] (일본), [[자이스|Carl zeiss]] (독일), FEI (미국), TESCAN (체코) 등이 주로 꼽힌다. 근래에는 대한민국에서도 하나 둘 주사전자현미경 개발에 뛰어들어 새론, 코셈, 엠크래프츠 등의 국내 업체들이 탁상형 소형 주사전자현미경 상용화를 실시하였다.저장 버튼을 클릭하면 당신이 기여한 내용을 CC-BY-NC-SA 2.0 KR으로 배포하고,기여한 문서에 대한 하이퍼링크나 URL을 이용하여 저작자 표시를 하는 것으로 충분하다는 데 동의하는 것입니다.이 동의는 철회할 수 없습니다.캡챠저장미리보기