질화물

Nitride

1. 개요[편집]

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질소화 이온(N^3-)과 양이온이 결합을 이룬 화합물. 질소화물이라고도 부른다. 아자이드화 납과 같은 아자이드화물은 아자이드화 이온(N₃^-)과 양이온의 화합물이므로 엄밀히 말해서 질화물이 아니다. 질화물은 세라믹의 일종이며 산화물을 제외한 세라믹 중에서 널리 쓰이는 부류에 속한다.

2. 종류[편집]

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• 질화 갈륨
• 질화 규소: 실리콘 소자의 절연막으로 사용된다. 산화 공정 참고.
• 질화 붕소
• 질화 티타늄: 견고하며 내식성이 강하다. 반도체 공정에서 확산 방지막 용도로 사용되며, 전극으로도 활용된다.